本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

天天爱消除2月24日每日一题答案

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这将是一次怎样的邂逅？健康空气与茶文化又有怎样的联系呢？我们一起走进雅安 · 茶马古道 …

访茶雅安，寻找健康好空气

“扬子江心水，蒙山顶上茶”，雅安的茶文化源于西汉，被称为为世界茶文化的发源地，是川藏茶马古道的起点。这里一年中有200多天都在下雨，湿润为茶带来了极为适宜的生长环境。

但是，这里的环境虽然适合茶的生长，但却不适合茶的存放。当然，高湿的环境同样会为人体带来不适，夏季过高的室内湿度会导致人体汗液不易排出，出汗后不易被蒸发掉，因而会使人更容易产生烦躁、疲倦、食欲不振、闷热感等 …

但在，雅安茶文化传承人邓显俊家中，却有着与户外极湿环境截然不同的健康好空气，52%的恒定湿度、拂面而来的柔风、淡雅清新的茶香，一呼一吸间尽感舒适，而这一切都源于他家中的海尔家庭中央空调 … 不过，这样的好空气究竟可以带来怎样的茶体验呢？

52%黄金湿度 + 舒适好空气，存好茶

想要获得好的茶体验，存好茶首当其冲，茶叶吸湿及吸味性强，很容易吸附空气中水分及异味失去原本的风味，不同品种的茶叶适宜存储温湿度不同，但基本上都在40%~60%之间，与人体舒适湿度范围相同。

雅安茶文化传承人邓显俊家：“空气湿度大，茶叶非常容易受潮变霉，我对屋内的潮湿度尤为注重，因此我选用了除湿能力强的海尔家庭中央空调，TA的除湿效果的确很好，不仅让茶叶能得到更好的存放，也为我带来了温湿度适宜的室内健康舒适环境”。

85度健康水 + 健康好空气，品好茶

品茶对水温和水的本质都很讲究，但是品茶不仅是品茶本身的味道，更是享受品茶过程中的意境，所以空气环境同样也会影响到品茶的体验，畅快呼吸才能不负茶香。

雅安茶文化传承人邓显俊家：云雾茶要在85度的开水里泡，这样泡出来的茶会颜色明亮、醇厚味甘。而品茶则需要舒适、安逸的空气环境没有户外的潮湿一呼一吸畅快品茶香；没有闷热的空气，凉爽、清新一举一动仿佛置身于自然山水间，海尔家庭中央空调的健康空气体验真的很出色

写在最后：海尔家庭中央空调，匠心源于专业

当然，无理论是雅安的好茶、还是海尔家庭中央空调的好空气，TA们的好都源于背后的匠心…

雅安茶文化传承人邓显俊家：“两三百度下的锅温，杀青揉捻，需要除去湿度和一份火候的掌握，精准控制温湿度，来散发出袅袅茶香。每一步都蕴藏着传承与匠心”。

而海尔家庭中央空调的匠心则体现在TA的“7A级专业化定制好空气”-- 专业设计、专业工具、专业辅材、专业工艺、专业施工、专业监理、专业服务，每一步都是海尔空调人对于“健康好空气”的执着与用心 …

 正是他们的专业，才让海尔家庭中央空调即使直面93%的极湿环境，也能带来恒温恒湿的极致舒适体验 以及 健康5度好空气…

健康中国行，寻找健康好空气，海尔空调5500Km极境穿越，下一站我们将穿越阿尔金山无人区前往被誉为“最孤独的城市” – 茫崖，在那里，我们还将会遇见怎样的故事？我们下期见 … 

　　音乐偶剧《谁当冠军》往期剧照。

　　日前，记者从聚橙演艺获悉，由陕西演艺集团和陕西省民间艺术剧院有限公司精心创排的音乐偶剧《谁当冠军》即将于10月18日至19日在合肥庐阳剧院和瑶海大剧院上演，为观众带来一场“非遗+科技”交融的视听盛宴。

　　《谁当冠军》以“非遗+科技”为内核，融合了陕西杖头木偶等多种偶型，在舞台上构建出跨越古今的艺术图景。剧中，杖头木偶作为“非遗代表”率先登场：演员指尖轻捻操控杆，木偶或颔首低眉似诉说千年故事，或扬袖旋身如踏春风起舞，每一个眼神、每一段动作都尽显传统技艺的细腻灵动；与之形成鲜明对比的是背架式机器人人偶的“科技亮相”，和穿戴式机器狗人偶的交互表演完美融合，生动呈现出传统木偶与现代科技共舞的奇妙场景。

　　当传统木偶的“柔”与科技人偶的“刚”在舞台中央相遇，古今对话在此刻具象。

　　剧中音乐更是与剧情深度契合，时而激昂澎湃烘托高潮，时而婉转悠扬传递温情，搭配细腻的舞台灯光与场景设计，让观众在欣赏木偶表演的同时，沉浸式感受艺术与科技碰撞的独特魅力。

　　据了解，《谁当冠军》不仅是陕西省重大文化精品扶持项目，还获得陕西省文化和旅游厅、陕西省财政厅大型舞台剧和作品资助，以及2025年度传播交流推广专项资助。

　　此次合肥演出是该剧全国巡演的重要一站，后续还将走进甘肃、山西、宁夏、河南、广东等省份，在6省8地开展巡演。

　　相关负责人表示：“我们希望通过巡演，让更多观众感受传统木偶艺术的创新表达，同时以作品传递时代主旋律与社会正能量，在全国范围内激发文化共鸣，让非遗技艺在新时代焕发生机。”(记者 夏伟)

　　作为深耕包拯题材十余年的作者，许高彬此前已著有《包拯传》《包公故事》《包公逸事》等作品。据悉，此次新著突破传统传记的叙事局限，不再停留于“清官事迹”“断案传奇”的表层叙述，而是首次以“儒家文化”为主线，系统阐释包拯如何在儒家思想文化的浸润下，成为治世能臣和千古名臣，深入挖掘根植于儒家传统文化的包公文化所蕴含的内涵以及对当今时代的启示和借鉴价值，对于合肥打造地域文化品牌、弘扬包公文化具有重要意义，也为合肥乃至全国包公文化研究和传承提供了生动素材。(记者 秦鸣)